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신광석영 품번 상세. 수치는 표준 출하 범위이며, 슬롯 피치 등 특수 공차는 기술영업과 합의합니다.
SG-QW 계열은 확산·CVD·세정 공정에 넣는 석영웨어입니다. 투명 석영 잉곳을 제2가공동 선반에서 깎고, 용접으로 보트 살과 관을 이은 뒤 HF 세정합니다. 2026년 3월 선반 4대를 증설해 8인치 물량을 같은 동에서 냅니다.
표준 품번은 6인치 보트 B150, 8인치 보트 B200, 페데스탈 P300, 확산관 DT150, 세정조 C200입니다. 금속 불순물 Al/Na/Fe를 ppb 단위로 관리하고, SEMI F72 청정도 제3자 성적 ETA-2024-1106을 적용합니다.
세정 후 클린백 이중 포장, 슬롯 피치와 웨이퍼 매수는 고객 도면을 받아 맞춥니다. 로트 번호는 잉곳부터 출하 박스까지 같습니다.
| 품목코드 | 품명 | 적용 웨이퍼 | 주요 치수 | 비고 |
|---|---|---|---|---|
| SG-QW-B150 | 6″ 보트 | 150 mm | 슬롯 25 / 50매, 피치 도면 | 수평 확산 |
| SG-QW-B200 | 8″ 보트 | 200 mm | 슬롯 25 / 50매, 피치 도면 | 수평 확산 |
| SG-QW-P300 | 페데스탈 | 150 / 200 mm | 높이·외경 도면 | 종형로 받침 |
| SG-QW-DT150 | 확산관 | 6″ 로 | 내경·유효 길이 도면 | 공정관, 플랜지 옵션 |
| SG-QW-C200 | 세정조 | 8″ 배치 | 내조 유효 치수 도면 | HF·SC1 대응 활면 |
| 재질 | 고순도 투명 석영 (전기용융 또는 합성, 품번별) |
|---|---|
| SiO2 | ≥ 99.99% (웨어 로트) |
| 금속 Al | ≤ 0.5 ppm (전형, 잉곳), 표면은 ppb 세정 관리 |
| 금속 Na | ≤ 0.3 ppm (전형) |
| 금속 Fe | ≤ 0.3 ppm (전형) |
| 청정도 | SEMI F72, 제3자 성적 ETA-2024-1106 |
| 세정 | HF 계 세정 후 UPW 린스, 건조, 클린백 |
| 사용 온도 | 확산관·보트 연속 1100 °C급 (레시피 따름) |
| 슬롯 공차 | 피치 ±0.10 mm 표준, 특수 공차 합의 |
| 용접 | 수소-산소 토치, 살 이음부 육안·편광 검사 |
| 인증 | 등록번호 | 적용 |
|---|---|---|
| ISO 9001:2015 | KFQ KR-Q-2006-07421 | 설계·제조 품질 |
| ISO 14001:2015 | KFQ KR-E-2012-05108 | HF 세정 환경 |
| ISO 45001:2018 | KFQ KR-S-2020-01934 | HF·고온 안전 |
| KS L 2105 석영유리 | KATS 16-0842 | 모재 물성 |
| SEMI F72 청정도 | ETA-2024-1106 (제3자) | 파티클·금속 표면 |
수평·종형 확산로 보트와 페데스탈(B150, B200, P300), 공정 확산관(DT150), 웨트벤치 석영 세정조(C200)에 사용합니다. 웨이퍼 매수, 슬롯 각도, 로 내경을 주시면 도면을 다시 그립니다.
입찰·사양 첨부는 SEMI F72 성적 사본과 금속 분석표를 같이 냅니다. 기술 문의는 tech@shingwang.co.kr, 견적은 02-852-3710입니다.
| 형식 | SG-QW-{품번}-{슬롯/치수}-{세정} |
|---|---|
| 예 1 | SG-QW-B150-S25-HF (6″, 25매, HF 세정) |
| 예 2 | SG-QW-B200-S50-HF (8″, 50매, HF 세정) |
| 예 3 | SG-QW-DT150-L1800-FL (확산관 유효 1800 mm, 플랜지) |
| 주문 예 | SG-QW-B200-S25-HF × 8조, 도면 REV.C, 클린백 이중, 성적서 첨부 |