투명 석영관
전기용융 투명 석영관입니다. 외경 6~200 mm, 길이 1000/1200/1500 mm를 표준으로 냅니다. SiO2 99.98% 이상, 연속 사용 1100 °C, 연화점 1683 °C입니다. 일반 OH 150–180 ppm과 저OH 10 ppm 미만 두 등급이 있습니다.
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안산 본사 공장에서 전기용융·합성 석영을 녹이고, 제2가공동에서 선반·용접·세정합니다. 품번별 사양서와 출하 성적서를 발행합니다.
전기용융 투명 석영관입니다. 외경 6~200 mm, 길이 1000/1200/1500 mm를 표준으로 냅니다. SiO2 99.98% 이상, 연속 사용 1100 °C, 연화점 1683 °C입니다. 일반 OH 150–180 ppm과 저OH 10 ppm 미만 두 등급이 있습니다.
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판재와 원판, UV 투과 창을 절단·연마합니다. 50×50×2t부터 Ø150×8t까지 표준 치수가 있고, 185–2500 nm 투과 창(SG-QP-UV3)을 별도 품번으로 관리합니다. 양면 광학 연마를 요청하면 간섭무늬를 성적서에 붙입니다.
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6·8인치 보트, 페데스탈, 확산관, 세정조를 선반·용접으로 만듭니다. Al/Na/Fe를 ppb 단위로 관리하고 SEMI F72 청정도 성적 ETA-2024-1106을 적용합니다. 세정 후 클린백 포장으로 출하합니다.
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기포를 남겨 단열성을 높인 불투명 석영입니다. 500 ml·2 L 도가니, 튜브 블록, 인슐레이션 링을 주조·가공합니다. 도가니 내면은 활면 처리하고, 고온 도가니 로에 맞는 뚜껑과 받침을 세트로 냅니다.
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UV·IR 창, 10 mm 큐벳, 렌즈 블랭크를 합성 석영으로 연마합니다. 파장별 투과율을 표로 관리하고, 스트릭·기포 등급을 검사합니다. 분광·UV 경화·레이저 경로에 쓰는 창을 치수 가공합니다.
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붕규산 관, 액면계 유리, 사이트글라스, 강화 뷰포트를 석영과 같은 공장에서 가공합니다. 화공 반응기와 보일러 액면, 고온 관찰창에 맞춘 내압·내열 등급을 사양서에 적습니다.
사양 보기전기용융 석영과 합성 석영을 본사 공장(산단로 163)에서 녹이고, 선반·용접·HF 세정은 제2가공동(산단로 185)에서 이어 갑니다. 로트 번호로 잉곳부터 출하 박스까지 추적합니다.
투명관은 SiO2·OH·진원도를 로트 관리하고, 반도체 웨어는 금속 불순물과 SEMI F72 파티클을 성적서에 붙입니다. KS L 2105(KATS 16-0842)와 ISO 9001·14001·45001을 생산 루틴에 넣어 두었습니다.
공정·시험 보기
반도체 확산·세정, 실험·분석 기구, 광학·UV 창, 고온·화공 관찰에 같은 공장의 석영을 넣습니다.
산단로 185 제2가공동에 석영 전용 선반 4대를 추가로 설치하고 시운전을 마쳤습니다. 반도체 웨어와 대구경 관의 가공 용량을 늘렸습니다.
OH 10 ppm 미만 투명 석영관을 표준 외경 라인에서 양산합니다. 고온 램프와 반도체 열처리 구간에 맞는 품번을 사양서에 올렸습니다.
석영유리 제품 KS L 2105 인증을 갱신했습니다. 투명관·판재 로트에 같은 시험 항목을 적용합니다.
