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전기용융·합성 용융부터 선반, 용접, 세정, 시험까지. 스펙의 숫자를 공정에서 만듭니다.
본사 공장(산단로 163)에서 고순도 석영사 전기용융과 합성 석영 잉곳을 만듭니다. 로트 번호는 잉곳부터 출하 박스까지 같습니다.
전기용융은 투명관·판재·불투명 주조의 기본입니다. 전극과 도가니 분위기를 교대마다 기록하고, SiO2·OH·기포를 잉곳 단위로 샘플합니다. 합성 석영은 광학·UV 창과 일부 반도체 웨어에 씁니다. 저OH(<10 ppm) 관은 2025년 11월부터 표준 외경 라인에서 양산합니다.
용융이 한 단지에 있는 이유는 관 진원이나 금속이 벗어났을 때 그날 레시피를 고칠 수 있어야 하기 때문입니다. 외주 잉곳을 섞지 않는 것을 원칙으로 합니다.
| 단계 | 설비·장소 | 내용 | 관리 항목 |
|---|---|---|---|
| 전기용융 | 본사 공장 용융동 | 고순도 석영사를 전기로에서 녹여 투명 잉곳·관 모재를 만듭니다. 불투명은 냉각 조건을 달리합니다. | SiO2, OH, 기포, 전극 오염 |
| 합성 석영 | 본사 공장 합성동 | 기상 합성으로 광학·UV용 잉곳을 쌓고 소결합니다. UV10·IR20 로트를 분리합니다. | OH, 스트릭, 균질 |
| 인출 · 절단 | 본사 공장 | 관을 인출하고 표준 길이 1000/1200/1500 mm로 자릅니다. 판재는 잉곳을 켭니다. | 외경, 진원, 두께 |
제2가공동(산단로 185)에서 석영 전용 선반과 수소-산소 토치 용접을 합니다. 2026년 3월 선반 4대를 증설했습니다.
| 단계 | 설비·장소 | 내용 | 관리 항목 |
|---|---|---|---|
| 선반 | 제2가공동 | 보트 살, 페데스탈, 플랜지, 도가니 외형을 깎습니다. 8인치 웨어와 대구경 관을 같은 동에서 냅니다. | 슬롯 피치, 동심, 표면 |
| 용접 | 제2가공동 용접실 | 수소-산소 토치로 관·살을 잇습니다. 이음부는 육안과 편광으로 기포·응력을 봅니다. | 이음 두께, 응력, 기포 |
| 면취 · 화염 | 제2가공동 | 관 양단 면취, 화염 폴리시, 판재 모따기. 주문 비고에 따라 적용합니다. | 모서리, 치핑 |
반도체 웨어와 청정 관은 HF 계 세정 후 초순수 린스, 건조, 클린백 이중 포장합니다. 세정조 농도와 시간은 품번 레시피를 따릅니다.
일반 관·판은 탈이온수 세척과 건조가 기본입니다. HF 작업은 허가작업과 스크러버를 전제로 하며, ISO 45001 절차를 적용합니다.
석영유리는 KS L 2105(KATS 16-0842), 반도체 웨어는 SEMI F72(ETA-2024-1106)를 적용합니다. 성적서는 로트 단위입니다.
| 구분 | 항목 | 방법·설비 | 기준 문서 | 주기 |
|---|---|---|---|---|
| 화학 | SiO2, OH, 금속 Al/Na/Fe | ICP, IR OH, 습식 | KS L 2105, 사내 SOP | 잉곳 / 로트 |
| 기하 | 외경, 내경, 진원, 두께, 슬롯 피치 | 마이크로미터, 광학 측정 | 사양서 공차 | 전수 또는 샘플 |
| 광학 | 투과율(파장별), 스트릭, 기포 | 분광광도계, 편광 | 품번 투과 표 | 광학 로트 |
| 청정도 | 파티클, 표면 금속 | 액중 파티클, TXRF/ICP | SEMI F72 ETA-2024-1106 | 웨어 로트 / 형식 |
| 열 | 연화·변형 참고, 급열 한도 | 로 시험(형식) | KS L 2105, 사내 | 형식 / 정기 |
| 육안 | 스크래치, 치핑, 용접 이음 | 검사대, 편광 | 사내 외관 기준 | 전수 |
특수 시험은 기술영업(tech@shingwang.co.kr, 031-494-3700)으로 요청하십시오. 제3자 성적 사본은 수주 계약 후 제공합니다.