온산공장 NF3 5N 정제탑 3호기 가동

천우화학은 2025년 11월 18일 울산광역시 울주군 온산읍 산암로 210 온산공장에 삼불화질소(NF3) 5N 정제탑 3호기를 추가하고 시운전을 마쳤습니다. 기존 1·2호기는 디스플레이와 소량 평가 물량에, 3호기는 파운드리 챔버 클리닝 연속 물량에 전용합니다. 충전은 47 L와 440 L Y-실린더를 같은 매니폴드에서 냅니다.

증설 배경은 국내 파운드리의 NF3 사용량이 같은 분기에 늘어난 점입니다. 탑정 CF4와 HF를 낮추기 위해 환류비와 흡착탑 파과점을 다시 잡았습니다. 로트 번호는 원료 탱크부터 출하 용기까지 그대로 이어집니다. 분석 확정은 오창 R&D GC-MS 항목입니다.

시운전 기간 동안 N2, O2, CF4, HF, H2O 항목을 반복 측정했습니다. 출하 일정은 온산 출하과 052-240-3100, 사양 협의는 본사 031-680-2100 또는 tech@cheoun.co.kr 입니다. 관련 품번은 CU-NF3-5N, 인증번호 KGS-NF3-2024-031입니다.