031-680-2100
온산공장 052-240-3100오창 R&D 043-240-8800팩스 031-680-2199평일 09:00–17:00 (점심 12:00–13:00)주말·공휴일 휴무
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온산공장에서 정제·충전하고, 오창 R&D에서 불순물 성적서를 발행합니다. 품번별 사양서와 용기 성적서를 함께 냅니다.
NF3 99.999% · KGS-NF3-2024-031 · 챔버 클리닝·LCD 식각
WF6 99.999% · KGS-WF6-2024-044 · CVD 텅스텐 배선
CF4 99.999% · KGS-CF4-2023-118 · Si·산화막 건식 식각
SF6 99.999% · KGS-SF6-2023-119 · GIS 절연·플라즈마 식각
NH3 99.999% · KGS-NH3-2024-007 · Si3N4·GaN CVD
SiH4 99.9999% · KGS-SIH4-2024-012 · a-Si·poly-Si CVD
울산 울주군 온산읍 산암로 210에 삼불화질소 정제탑을 추가하고 시운전을 마쳤습니다. 월 충전 용량을 확대합니다.
육불화텅스텐 99.999%를 분기별로 온산에서 출하합니다. 용기 성적서와 DISS 피팅을 함께 납품합니다.
고압가스 제조허가와 안전보건경영시스템(KSQ-S-0290)을 같은 주기로 갱신했습니다.
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