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특수가스 제조

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인증현황

ISO 9001:2015KSQ-Q-1847
ISO 14001:2015KSQ-E-0612
ISO 45001:2018KSQ-S-0290
KGS 제조허가울주-충-제2024-118호

주요 제품

온산공장에서 정제·충전하고, 오창 R&D에서 불순물 성적서를 발행합니다. 품번별 사양서와 용기 성적서를 함께 냅니다.

NF3 충전 용기

CU-NF3-5N 삼불화질소

NF3 99.999% · KGS-NF3-2024-031 · 챔버 클리닝·LCD 식각

사양 표 →
WF6 공정 라인

CU-WF6-5N 육불화텅스텐

WF6 99.999% · KGS-WF6-2024-044 · CVD 텅스텐 배선

사양 표 →
CF4 특수가스

CU-CF4-5N 사불화탄소

CF4 99.999% · KGS-CF4-2023-118 · Si·산화막 건식 식각

사양 표 →
SF6 배관 설비

CU-SF6-5N 육불화황

SF6 99.999% · KGS-SF6-2023-119 · GIS 절연·플라즈마 식각

사양 표 →
고순도 암모니아 분석

CU-NH3-5N 고순도 암모니아

NH3 99.999% · KGS-NH3-2024-007 · Si3N4·GaN CVD

사양 표 →
모노실란 충전 설비

CU-SIH4-6N 모노실란

SiH4 99.9999% · KGS-SIH4-2024-012 · a-Si·poly-Si CVD

사양 표 →

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