CU-WF6-5N 육불화텅스텐 WF6

천우화학 품번 상세. 수치는 표준 출하 범위이며, 특수 공차는 기술영업과 합의합니다.

개요

CU-WF6-5N은 육불화텅스텐(WF6) 99.999% 품번입니다. 온산공장에서 증류와 금속 게터로 정제하고, 니켈 라이너 용기에 충전합니다. 수분과 HF가 배관을 부식시키므로 충전 직전 라인 베이크를 기록합니다.

텅스텐 CVD에서 파티클과 저항 산포는 금속 불순물과 WOF4에 민감합니다. 출하 성적서에 HF, WOF4, N2, O2, 금속 이온을 표기합니다. 인증번호는 KGS-WF6-2024-044입니다.

표준 밸브는 CGA 670 또는 DISS 716입니다. 용기는 전용 회수 순환이며, 잔액 처리는 온산 충억과가 담당합니다.

품번	CU-WF6-5N
제품	육불화텅스텐 Tungsten hexafluoride
화학식	WF₆
순도	99.999 % (5N)
불순물	HF ≤ 1.0 ppm · WOF₄ ≤ 5 ppm · N₂ ≤ 2.0 ppm · O₂ ≤ 0.5 ppm · 금속 합계 ≤ 10 ppb (Fe, Ni, Cr, Mo)
분자량 / 비점	297.83 g/mol · 17.1 °C
성상	상온 인근에서 액화, 가압 액상 충전
용기	10 L · 47 L, 니켈 라이너 강재
밸브	CGA 670 · DISS 716
용도	텅스텐 CVD, 컨택 플러그, 비아 매립
인증번호	KGS-WF6-2024-044
제조허가	KGS 울주-충-제2024-118호
분석	오창 R&D FTIR, ICP-MS, 수분 — 로트 성적서
취급	부식성, 수분 차단, 전용 스크러버

로직·메모리 컨택과 비아에 텅스텐을 쌓는 CVD 챔버에 공급합니다. 실란 환원 또는 수소 환원 레시피 모두에 쓸 수 있으며, 핵생성 층의 금속 스펙은 고객 도면을 따릅니다.

배관은 니켈 또는 하스텔로이, 밸브는 메탈 시트를 권합니다. 히팅 자켓으로 용기와 1차 레귤레이터를 40~50 °C로 유지하십시오. 협의는 tech@cheoun.co.kr, 031-680-2100입니다.

발주 시 아래 형식으로 적어 주십시오. 용기 용량과 밸브 형식은 비고에 명시합니다.