CU-NH3-5N 고순도 암모니아

천우화학 품번 상세. 수치는 표준 출하 범위이며, 특수 공차는 기술영업과 합의합니다.

개요

CU-NH3-5N은 고순도 암모니아(NH3) 99.999% 품번입니다. 온산공장에서 증류와 분자체로 수분과 산소를 낮추고, 전용 라인에서 10 L·47 L·Y-실린더에 충전합니다.

질화막 CVD와 GaN 성장에서 산소·수분은 막질과 이동도를 떨어뜨립니다. 출하 성적서에 H2O, O2, N2, CO, CO2, THC를 표기합니다. 인증번호는 KGS-NH3-2024-007입니다.

표준 밸브는 CGA 240 또는 DISS 720입니다. 액상 인출과 기상 인출을 발주 시 구분하십시오.

품번	CU-NH3-5N
제품	고순도 암모니아 High-purity ammonia
화학식	NH₃
순도	99.999 % (5N)
불순물	H₂O ≤ 1.0 ppm · O₂ ≤ 0.5 ppm · N₂ ≤ 2.0 ppm · CO/CO₂ ≤ 0.5 ppm · THC ≤ 0.5 ppm
분자량 / 비점	17.03 g/mol · −33.3 °C
충전	액상 충전, 47 L 전형 25 kg
용기	10 L · 47 L · 440 L Y-실린더
밸브	CGA 240 · DISS 720, 딥튜브 옵션
용도	Si3N4 CVD, GaN MOCVD, LED, 질화 처리
인증번호	KGS-NH3-2024-007
제조허가	KGS 울주-충-제2024-118호
분석	오창 R&D 수분, GC, FTIR — 로트 성적서
취급	독성·부식성, 스크러버·누출 감지기 필수

PECVD 질화막, ALD 질화, GaN MOCVD 캐리어/반응 가스로 씁니다. LED와 전력반도체는 수분 스펙을 0.3 ppm까지 낮춘 특수 로트를 협의할 수 있습니다.

딥튜브는 액상 인출, 기상 인출은 딥튜브 없이 지정합니다. 배관은 SUS 316L, 실링은 암모니아 적합성 재질을 쓰십시오. tech@cheoun.co.kr, 031-680-2100.

발주 시 아래 형식으로 적어 주십시오. 용기 용량과 밸브 형식은 비고에 명시합니다.