충전 배관
온산 충전동 스테인리스 배관. 품번별로 라인을 분리하고, 잔류 수분과 입자를 필터로 관리합니다.
ENG
품번을 누르면 상세 사양·인증번호·주문코드를 볼 수 있습니다. 수치는 표준 출하 범위입니다.
온산공장에서 NF3·CF4·SF6를 증류·흡착 정제한 뒤 전용 용기에 충전합니다. 반도체 챔버 클리닝과 건식 식각에 쓰는 5N 품번이 기본입니다. 용기 밸브는 DISS 또는 CGA를 지정할 수 있습니다.
| 품번 | 제품 | 순도 | 인증번호 | 적용 |
|---|---|---|---|---|
| CU-NF3-5N | 삼불화질소 NF3 | 99.999% | KGS-NF3-2024-031 | 챔버 클리닝 · LCD 식각 |
| CU-CF4-5N | 사불화탄소 CF4 | 99.999% | KGS-CF4-2023-118 | Si · SiO2 · Si3N4 건식 식각 |
| CU-SF6-5N | 육불화황 SF6 | 99.999% | KGS-SF6-2023-119 | 플라즈마 식각 · GIS 절연 |
WF6는 니켈 라이너 용기에, SiH4는 자연발화 전용 격실에서 충전합니다. NH3는 수분 1 ppm 이하를 로트 관리합니다. 성적서는 오창 R&D GC-MS·ICP-MS 항목을 붙입니다.
| 품번 | 제품 | 순도 | 인증번호 | 적용 |
|---|---|---|---|---|
| CU-WF6-5N | 육불화텅스텐 WF6 | 99.999% | KGS-WF6-2024-044 | 텅스텐 CVD · 컨택 플러그 |
| CU-NH3-5N | 고순도 암모니아 NH3 | 99.999% | KGS-NH3-2024-007 | Si3N4 · GaN CVD · LED |
| CU-SIH4-6N | 모노실란 SiH4 | 99.9999% | KGS-SIH4-2024-012 | a-Si · poly-Si CVD · 태양전지 |
| 코드 | 규격 | 핵심 사양 | 적용 |
|---|---|---|---|
| CU-CYL-10 | 10 L 강재 / 니켈 라이너 | 사용압력 품번별, 밸브 CGA·DISS | 파일럿 · 평가 |
| CU-CYL-47 | 47 L 표준 용기 | 타각 번호, 재검사 주기 3년 또는 5년 | 양산 라인 |
| CU-CYL-440Y | 440 L Y-실린더 | 다기관, 자동밸브 옵션 | 대량 연속 공급 |
| CU-VALVE | CGA 240/330/670 · DISS 632/716/720 | 품번별 지정, 잔압 유지 | 전 품번 |
온산 충전동 스테인리스 배관. 품번별로 라인을 분리하고, 잔류 수분과 입자를 필터로 관리합니다.
오창 R&D에서 GC-MS, FTIR, 수분, 금속을 측정합니다. 로트 성적서를 용기에 첨부합니다.
온산 출하과 052-240-3100. 차량 적재와 밸브 캡, 성적서 사본을 함께 확인합니다.