CU-CF4-5N 사불화탄소 CF4

천우화학 품번 상세. 수치는 표준 출하 범위이며, 특수 공차는 기술영업과 합의합니다.

개요

CU-CF4-5N은 사불화탄소(CF4) 99.999% 품번입니다. 온산공장에서 증류와 분자체 흡착으로 공기·수분·기타 플루오로카본을 낮춥니다. 충전은 10 L·47 L와 47 L 번들에 합니다.

Si, SiO2, Si3N4 건식 식각에서 선택비는 O2·CHF3 혼합과 잔류 수분에 좌우됩니다. 출하 성적서에 Air, O2, CO, CO2, H2O, 기타 플루오로카본을 표기합니다. 인증번호는 KGS-CF4-2023-118입니다.

표준 밸브는 CGA 580 또는 DISS 716입니다. 산업용 저순도 CF4와 라인을 섞지 않습니다.

품번	CU-CF4-5N
제품	사불화탄소 Carbon tetrafluoride
화학식	CF₄
순도	99.999 % (5N)
불순물	Air ≤ 2.0 ppm · O₂ ≤ 0.5 ppm · CO ≤ 0.5 ppm · CO₂ ≤ 1.0 ppm · H₂O ≤ 1.0 ppm · 기타 플루오로카본 ≤ 5 ppm
분자량 / 비점	88.00 g/mol · −127.8 °C
충전 압력	전형 12.0 MPa (20 °C, 47 L)
용기	10 L · 47 L · 47 L×8 번들, 강재
밸브	CGA 580 · DISS 716
용도	Si·산화막·질화막 건식 식각, 챔버 세정 보조
인증번호	KGS-CF4-2023-118
제조허가	KGS 울주-충-제2024-118호
분석	오창 R&D GC-MS, 수분 — 로트 성적서
포장	UN 1982 표지, 성적서

플라즈마 식각기의 주 식각 가스 또는 NF3·O2와 섞는 보조 가스로 씁니다. 디스플레이 대형 기판은 유량이 커서 번들 공급을 권합니다. 선택비가 민감한 로직 식각은 DISS 피팅과 0.003 μm 필터를 같이 지정하십시오.

배관은 SUS 316L, 누설 시험은 헬륨 스니퍼를 권합니다. 혼합 캐비닛 설계는 기술영업과 합의합니다. tech@cheoun.co.kr, 031-680-2100.

발주 시 아래 형식으로 적어 주십시오. 용기 용량과 밸브 형식은 비고에 명시합니다.