CU-NF3-5N 삼불화질소 NF3 99.999%

천우화학 품번 상세. 수치는 표준 출하 범위이며, 특수 공차는 기술영업과 합의합니다.

개요

CU-NF3-5N은 삼불화질소(NF3) 99.999% 품번입니다. 온산공장에서 원료 NF3를 저온 증류와 흡착탑으로 정제하고, 전용 스테인리스 라인에서 10 L·47 L·440 L Y-실린더에 충전합니다. 로트 번호는 정제 배치부터 출하 용기까지 동일합니다.

챔버 클리닝과 LCD 식각에서 잔류 CF4와 HF가 수율을 흔듭니다. 출하 성적서에 N2, O2, CF4, CO, CO2, SF6, HF, H2O를 표기합니다. 인증번호는 KGS-NF3-2024-031입니다.

표준 밸브는 CGA 330 또는 DISS 716입니다. 잔압 유지를 전제로 회수 용기를 받으며, 밸브 캡과 성적서 사본을 온산 출하과에서 함께 확인합니다.

품번	CU-NF3-5N
제품	삼불화질소 Nitrogen trifluoride
화학식	NF₃
순도	99.999 % (5N)
불순물	N₂ ≤ 1.0 ppm · O₂ ≤ 0.5 ppm · CF₄ ≤ 1.0 ppm · CO ≤ 0.5 ppm · CO₂ ≤ 0.5 ppm · SF₆ ≤ 0.5 ppm · HF ≤ 0.1 ppm · H₂O ≤ 0.5 ppm
분자량 / 비점	71.00 g/mol · −129.1 °C
충전 압력	전형 10.0 MPa (20 °C, 47 L 기준)
용기	10 L · 47 L · 440 L Y-실린더, 강재
밸브	CGA 330 · DISS 716
용도	반도체 챔버 클리닝, LCD 건식 식각, 원격 플라즈마 세정
인증번호	KGS-NF3-2024-031
제조허가	KGS 울주-충-제2024-118호
분석	오창 R&D GC-MS, FTIR, 수분계 — 로트 성적서
포장	밸브 캡, 성적서, UN 1045 표지

원격 플라즈마 소스에 넣어 산화막·질화막 잔류물을 제거하는 라인에 씁니다. LCD 식각은 CF4와 혼합 처방을 쓰는 현장이 많아, 혼합비는 고객 레시피를 따릅니다. 챔버 내벽이 알루미늄인 경우 HF 한도를 0.05 ppm까지 낮춘 특수 로트를 협의할 수 있습니다.

공급은 47 L 단병을 기본으로 하고, 연속 라인은 440 L Y-실린더 다기관을 권합니다. 배관 재질은 SUS 316L, 필터 0.003 μm를 권장합니다. 상세 유량·레시피 협의는 tech@cheoun.co.kr, 031-680-2100입니다.

발주 시 아래 형식으로 적어 주십시오. 용기 용량과 밸브 형식은 비고에 명시합니다.