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천우화학 품번 상세. 수치는 표준 출하 범위이며, 특수 공차는 기술영업과 합의합니다.
CU-SF6-5N은 육불화황(SF6) 99.999% 품번입니다. 온산공장에서 증류와 활성알루미나 흡착으로 수분과 산도를 낮춥니다. 충전은 10 L·47 L와 500 kg 드럼, ISO 탱크까지 대응합니다.
플라즈마 식각과 고압 GIS 절연을 같은 5N 스펙으로 냅니다. GIS용은 산도(HF)와 수분을 더 낮춘 로트를 지정할 수 있습니다. 인증번호는 KGS-SF6-2023-119입니다.
표준 밸브는 CGA 590 또는 DISS 716입니다. 회수 가스 재생은 별도 품번으로 받지 않으며, 신품만 출하합니다.
| 품번 | CU-SF6-5N |
|---|---|
| 제품 | 육불화황 Sulfur hexafluoride |
| 화학식 | SF6 |
| 순도 | 99.999 % (5N) |
| 불순물 | Air ≤ 2.0 ppm · CF4 ≤ 5 ppm · H2O ≤ 0.5 ppm · 산도(HF) ≤ 0.1 ppm |
| 분자량 / 비점 | 146.06 g/mol · −63.8 °C (승화) |
| 충전 | 액상 충전, 47 L 전형 50 kg |
| 용기 | 10 L · 47 L · 500 kg 드럼 · ISO 탱크 |
| 밸브 | CGA 590 · DISS 716 |
| 용도 | 플라즈마 식각, 고압 GIS·차단기 절연 |
| 인증번호 | KGS-SF6-2023-119 |
| 제조허가 | KGS 울주-충-제2024-118호 |
| 분석 | 오창 R&D GC, 수분, 산도 — 로트 성적서 |
| 비고 | GWP 높음. 회수·누설 관리는 고객 설비 기준. |
반도체·디스플레이 식각 챔버와 변전 GIS 충전 모두에 씁니다. GIS는 IEC 60376 수분·산도 항목을 성적서에 대조할 수 있습니다. 식각은 CF4·O2와 혼합하는 처방이 일반적입니다.
대량 변전 현장은 ISO 탱크 또는 500 kg 드럼, 팹은 47 L을 권합니다. 누설 탐지와 회수 장치는 고객 설비입니다. 협의는 tech@cheoun.co.kr, 031-680-2100.
발주 시 아래 형식으로 적어 주십시오. 용기 용량과 밸브 형식은 비고에 명시합니다.
| 기본형 | CU-SF6-5N-47L-C590 (47 L, CGA 590) |
|---|---|
| DISS | CU-SF6-5N-47L-D716 (47 L, DISS 716) |
| 드럼 | CU-SF6-5N-500D (500 kg 드럼) |
| GIS 저수분 | CU-SF6-5N-47L-C590-LW (H2O ≤ 0.2 ppm) |
| 주문 예 | CU-SF6-5N-47L-D716 × 20본, 납기 3주, 온산 출하 |