CU-SIH4-6N 모노실란 99.9999%

천우화학 품번 상세. 수치는 표준 출하 범위이며, 특수 공차는 기술영업과 합의합니다.

개요

CU-SIH4-6N은 모노실란(SiH4) 99.9999% 품번입니다. 온산공장 자연발화 전용 격실에서 정제·충전합니다. 충전 압력과 잔량은 용기마다 이중 기록합니다.

a-Si, poly-Si CVD와 태양전지에서 클로로실란과 금속이 결함이 됩니다. 출하 성적서에 H2, N2, CH4, CO, 클로로실란, 금속을 표기합니다. 인증번호는 KGS-SIH4-2024-012입니다.

표준 밸브는 DISS 632 자동밸브입니다. CGA는 취급하지 않습니다. 운반과 하역은 고압가스안전관리법과 온산 출하 수칙을 따릅니다.

품번	CU-SIH4-6N
제품	모노실란 Monosilane
화학식	SiH₄
순도	99.9999 % (6N)
불순물	H₂ ≤ 20 ppm · N₂ ≤ 0.5 ppm · CH₄ ≤ 0.1 ppm · CO ≤ 0.1 ppm · 클로로실란 ≤ 0.1 ppm · 금속 ≤ 1 ppb
분자량 / 비점	32.12 g/mol · −112 °C
충전 압력	전형 4.0~9.0 MPa (지정)
용기	10 L · 47 L · 440 L Y-실린더, 전용 강재
밸브	DISS 632, 공압 자동밸브
용도	a-Si · poly-Si CVD, 태양전지, 디스플레이
인증번호	KGS-SIH4-2024-012
제조허가	KGS 울주-충-제2024-118호
분석	오창 R&D GC, APIMS, ICP-MS — 로트 성적서
취급	자연발화, 전용 캐비닛·질소 퍼지·화염 감지기

PECVD 비정질 실리콘, LPCVD 폴리실리콘, HIT·TOPCon 태양전지, OLED TFT에 씁니다. 희석은 고객 캐비닛에서 하며, 당사는 순수 SiH4만 출하합니다.

캐비닛은 질소 퍼지, 화염·가스 감지기, 원격 차단을 전제로 합니다. 초도 납품 전 온산 안전팀이 수취 설비를 확인합니다. tech@cheoun.co.kr, 031-680-2100 · 온산 052-240-3100.

발주 시 아래 형식으로 적어 주십시오. 용기 용량과 밸브 형식은 비고에 명시합니다.